| 半導体用フォトレジスト製造設備 | 五 |
| フラットパネル用カラーフィルター、偏光板又は偏光板用フィルム製造設備 | 五 |
| その他の設備 | 八 |
| 石油製品又は石炭製品製造業用設備 | 七 |
| プラスチック製品製造業用設備(他の項に掲げるものを除く。) | 八 |
| ゴム製品製造業用設備 | 九 |
| なめし革、なめし革製品又は毛皮製造業用設備 | 九 |
| 窯業又は土石製品製造業用設備 | 九 |
| 鉄鋼業用設備 | |
| 表面処理鋼材若しくは鉄粉製造業又は鉄スクラップ加工処理業用設備 | 五 |
| 純鉄、原鉄、ベースメタル、フェロアロイ、鉄素形材又は鋳鉄管製造業用設備 | 九 |
| その他の設備 | 一四 |
| 非鉄金属製造業用設備 | |
| 核燃料物質加工設備 | 二一 |
| その他の設備 | 七一 |
| 金属製品製造業用設備 | |
| 金属被覆及び彫刻業又は打はく及び金属製ネームプレート製造業用設備 | 六 |
| その他の設備 | 一〇 |
| はん用機械器具(はん用性を有するもので、他の器具及び備品並びに機械及び装置に組み込み、又は取り付けることによりその用に供されるものをいう。)製造業用設備(省令別表第二の第二〇号及び第二二号に掲げるものを除く。) | 二三 |
| 生産用機械器具(物の生産の用に供されるものをいう。)製造業用設備(省令別表第二の第一九号及び第二一号に掲げるものを除く。) | |
| 金属加工機械製造設備 | 九 |
| その他の設備 | 二二 |
| 業務用機械器具(業務用又はサービスの生産の用に供されるもの(これらのものであつて物の生産の用に供されるものを含む。)をいう。)製造業用設備(省令別表第二の第一七号、第二一号及び第二三号に掲げるものを除く。) | 七 |