令和6年7月11日発行の官報（政府調達 第129号）に掲載された政府調達・入札公告です。国立研究開発法人産業技術総合研究所による「基板貫通用埋め込み酸化膜除去モジュール一式、ヒータ式排ガス無害化装置一式、材料試験機用レーザドップラ振動計三次元測定システム一式、超音波チップ接合装置一式、輸送特性・光特性・超伝導回路評価用無冷媒希釈冷凍機システム一式」の政府調達公告。掲載ページ: p.66。